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    电子超纯水和实验室纯水用水标准



    电子超纯水用水标准GB/T1146.1-1997
    EW-I
    电阻率MΩ.cm(25℃):18以上(95%时间)不低于17
    硅≤μg/l:2
    >1μM微粒数≤个/ml:0.1
    细菌个数≤个/ml:0.01
    铜≤μg/l:0.2
    锌≤μg/l:0.2
    镍≤μg/l:0.1
    钠≤μg/l:0.5
    钾≤μg/l:0.5
    氯≤μg/l:1
    硝酸根≤μg/l:1
    磷酸根≤μg/l:1
    硫酸根≤μg/l:1
    总有机碳≤μg/l:20

    EW-II
    电阻率MΩ.cm(25℃):15(95%时间)不低于13
    硅≤μg/l:10
    >1μM微粒数≤个/ml:5
    细菌个数≤个/ml:0.1
    铜≤μg/l:1
    锌≤μg/l:1
    镍≤μg/l:1
    钠≤μg/l:2
    钾≤μg/l:2
    氯≤μg/l:1
    硝酸根≤μg/l:1
    磷酸根≤μg/l:1
    硫酸根≤μg/l:1
    总有机碳≤μg/l:100

    电子超纯水和实验室纯水用水标准


    实验室纯水用水标准GB6682-92
    一级用水
    PH值范围(25℃):——
    电导率(μs/cm.25℃):≤0.1
    比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥10
    可氧化物质[以(0)计上],mg/L:——
    吸光度(254nm,1cm光程):≤0.001
    蒸发残渣(105±2℃),mg/L:——
    可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:<0.01

    二级用水
    PH值范围(25℃):——
    电导率(μs/cm.25℃):≤1
    比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥1
    可氧化物质[以(0)计上],mg/L:<0.08
    吸光度(254nm,1cm光程):≤0.01
    蒸发残渣(105±2℃),mg/L:≤1.0
    可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:<0.02

    三级用水
    PH值范围(25℃): 5.0-7.5
    电导率(μs/cm.25℃):≤5
    比电阻(MΩ.cm. 25℃):≥0.2
    可氧化物质[以(0)计上],mg/L:<0.40
    吸光度(254nm,1cm光程):——
    蒸发残渣(105±2℃),mg/L:≤2.0
    可溶性硅[以(SIo2]计,mg/L:—— 
    电子超纯水和实验室纯水用水标准



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